Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках

dc.contributor.author	Фролов, И. С.
dc.contributor.author	Иващенко, С. А.
dc.contributor.author	Плахотнюк, В. И.
dc.contributor.author	Макаревич, Е. В.
dc.date.accessioned	2019-08-30T13:11:13Z
dc.date.available	2019-08-30T13:11:13Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.citation	Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках : пат. 6176 Респ. Беларусь : МПК7 G01B11/16 / И. С. Фролов [и др.] ; заявитель Белорусский национальный технический университет ; дата публ.: 2004.06.30.	ru
dc.identifier.other	6176
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/56885
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках	ru
dc.title.alternative	Пат. 6176 Респ. Беларусь	ru
dc.type	Patent	ru