Модификация поверхностных слоев полупроводников
Bibliographic entry
Есман, А. К. Модификация поверхностных слоев полупроводников / А. К. Есман, Г. Л. Зыков, В. А. Потачиц // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 3. - С. 392.