Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении
Bibliographic entry
Комаровская, В. М. Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении / В. М. Комаровская, О. И. Терещук // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. – Минск : БНТУ, 2018. – Т. 4. – С. 210.