Формирование пленок нитрида углерода реактивным ионно-лучевым распылением графита
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Формирование пленок нитрида углерода реактивным ионно-лучевым распылением графита / Е. В. Телеш, Н. С. Филимонов // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 257-259.