Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур
Bibliographic entry
Сычик, В. А. Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур / В. А. Сычик, В. В. Глухманчук, И. В. Сикорский // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 334-335.