Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/62215/345-346.pdf.jpg?sequence=3&isAllowed=y)
Authors
Date
2019Publisher
Bibliographic entry
Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 345-346.