| dc.contributor.author | Колешко, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Полынкова, Е. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-03-20T07:40:46Z | |
| dc.date.available | 2020-03-20T07:40:46Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики / В. М. Колешко [и др.] // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2009. – Вып. 24, т. 2. – С. 223-228. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/68747 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрены особенности инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики и методы их кибернетического моделирования. Исследована технологическая инвариантность процесса формирования туннельных сенсорных наноструктур металл-диэлектрик-металл. Показано, что достижение инвариантности МДМ-наноструктур возможно при выполнении их на основе тонких ВТСП-пленок. Разработан способ получения тонких пленок из ВТСП-материалов для туннельных наноструктур путем распыления фторидных мишеней. Изучен процесс формирования сенсорных ПАВ-наноструктур для контроля давления, инвариантных по отношению к изменению температуры. Выполнен анализ инвариантности сенсорных ПАВ-наноструктур при осаждении на звукопровод тонких пленок фторидов РЗЭ. Установлены оптимальные параметры процесса получения инвариантных сенсорных ПАВ- наноструктур на основе редкоземельных фторидов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики | ru |
| dc.type | Article | ru |
