Стереологические особенности конденсируемого потока при магнетронном распылении
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2010Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
693.22.007.18Bibliographic entry
Лукша, А. Н. Стереологические особенности конденсируемого потока при магнетронном распылении / А. Н. Лукша ; науч. рук. В. Н. Ковалевский // Новые материалы и технологии их обработки : XI Республиканская студенческая научно-техническая конференция, 20-23 апреля 2010 г. / пред. редкол. Н. И. Иваницкий. – Минск : БНТУ, 2010. - С. 139-140.