Обнаружение изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах
| dc.contributor.author | Аваков, С. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-03-31T11:44:27Z | |
| dc.date.available | 2020-03-31T11:44:27Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.identifier.citation | Аваков, С. М. Обнаружение изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах / С. М. Аваков // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2007. – Вып. 23. – С. 344-349. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/70263 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Обнаружение изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах | ru |
| dc.type | Article | ru |
