Осаждение алмазоподобных покрытий PVD-методом с использованием планарного ионно-лучевого источника
| dc.contributor.author | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Терещук, О. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-05-05T11:34:57Z | |
| dc.date.available | 2020-05-05T11:34:57Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Комаровская, В. М. Осаждение алмазоподобных покрытий PVD-методом с использованием планарного ионно-лучевого источника / В. М. Комаровская, О. И. Терещук // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции (28–29 ноября 2019 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Ч. 1. – С. 26-28. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/72101 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Осаждение алмазоподобных покрытий PVD-методом с использованием планарного ионно-лучевого источника | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
