Технологический процесс магнетронного метода формирования тонкопленочных покрытий
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Касперович, И. С. Технологический процесс магнетронного метода формирования тонкопленочных покрытий / И. С. Касперович ; науч. рук. В. М. Комаровская // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции (28–29 ноября 2019 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Ч. 2. – С. 91-93.