Нанесение тонких пленок методом ионного распыления
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Мещеряков, М. В. Нанесение тонких пленок методом ионного распыления / М. В. Мещеряков ; науч. рук. Е. П. Орлова // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции (28–29 ноября 2019 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Ч. 2. – С. 157-158.