Методы получения субпиксельного разрешения при автоматическом контроле оригиналов топологии интегральных схем

dc.contributor.author	Аваков, С. М.	ru
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2014-05-06T06:53:44Z
dc.date.available	2014-05-06T06:53:44Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Аваков, С. М. Методы получения субпиксельного разрешения при автоматическом контроле оригиналов топологии интегральных схем / С. М. Аваков // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2008. – № 1. – С. 44-49.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/7286
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БНТУ	ru
dc.title	Методы получения субпиксельного разрешения при автоматическом контроле оригиналов топологии интегральных схем	ru
dc.type	Article	ru