Синтез тонких пленок оксида цинка при вакуумном распылении керамических мишеней
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/73144/Sintez_tonkih_plenok_oksida.pdf.jpg?sequence=3&isAllowed=y)
Date
2009Publisher
Bibliographic entry
Синтез тонких пленок оксида цинка при вакуумном распылении керамических мишеней / В. М. Колешко [и др.] // Международный симпозиум "Инженерия поверхности. Новые порошковые композиционные материалы. Сварка" : материалы докладов, Минск, 25-27 марта 2009 г. : в 2 ч. / гл. ред. П. А. Витязь. – Минск : Институт порошковой металлургии, 2009. – Ч. 1. – С. 215-220.