МЭМС-сенсоры давления на основе монокристаллического кремния
Bibliographic entry
Татура, П. О. МЭМС-сенсоры давления на основе монокристаллического кремния / П. О. Татура, Т. А. Кузнецова, В. А. Лапицкая // Новые направления развития приборостроения : материалы 13-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 15−17 апреля 2020 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 179-180.