Оборудование для ионно-плазменного напыления
Bibliographic entry
Юрчик, Р. В. Оборудование для ионно-плазменного напыления / Р. В. Юрчик, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 13-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 15−17 апреля 2020 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 362.