Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике

dc.contributor.author	Бондарев, В. А.	ru
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2014-05-16T08:23:37Z
dc.date.available	2014-05-16T08:23:37Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Бондарев, В. А. Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике / В. А. Бондарев // Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. Энергетика : международный научно-технический и производственный журнал. – 2006. – № 2. – С. 68 - 73.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/7553
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БНТУ	ru
dc.title	Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике	ru
dc.type	Article	ru