Свч-эллипсометр

dc.contributor.author	Пунько, Н. Н.
dc.contributor.author	Клушин, А. М.
dc.contributor.author	Волков, В. В.
dc.date.accessioned	2020-12-18T11:08:47Z
dc.date.available	2020-12-18T11:08:47Z
dc.date.issued	1989
dc.identifier.citation	Свч-эллипсометр : а. с. 1499196 СССР : МПК4 G01N22/00 / Н. Н. Пунько, А. М. Клутпин, В. В. Волков ; заявитель Белорусский политехнический институт ; дата публ.: 07.08.1989.	ru
dc.identifier.other	1499196
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/82727
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Свч-эллипсометр	ru
dc.title.alternative	А. с. 1499196 СССР	ru
dc.type	Patent	ru