Нанесение тонких пленок методом ионного распыления
Bibliographic entry
Кохан, Ю. В. Нанесение тонких пленок методом ионного распыления / Ю. В. Кохан ; науч. рук. Н. Э. Опиок // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (28–29 мая 2020 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 289-290.