Осаждение пленок с помощью ионного распыления
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Рябцев, Р. Л. Осаждение пленок с помощью ионного распыления / Р. Л. Рябцев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (28–29 мая 2020 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 348-349.