Базовые принципы оптимизации комплектации установки для взрывной фотолитографии
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Рябцев, Р. Л. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-01T11:51:30Z | |
| dc.date.available | 2021-02-01T11:51:30Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Рябцев, Р. Л. Базовые принципы оптимизации комплектации установки для взрывной фотолитографии / Р. Л. Рябцев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (28–29 мая 2020 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 350-351. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/85137 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Базовые принципы оптимизации комплектации установки для взрывной фотолитографии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
