Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | ru |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | ru |
| dc.contributor.author | Тодин, П. А. | ru |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T08:18:35Z | |
| dc.date.available | 2021-02-09T08:18:35Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа / С. И. Мадвейко [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 275-277. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/86819 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
