Формирование пленок SIOF осаждением из ионных пучков
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Формирование пленок SIOF осаждением из ионных пучков / Е. В. Телеш, Д. С. Данилевич // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 315-317.