Моделирование торсионных подвесов чувствительного элемента МЭМС-датчика угла наклона
Bibliographic entry
Федькин, В. А. Моделирование торсионных подвесов чувствительного элемента МЭМС-датчика угла наклона / В. А. Федькин, И. А. Таратын, Ю. М. Плескачевский // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 319-320.