Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением
Bibliographic entry
Ланин, В. Л. Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением / В. Л. Ланин, В. Т. Фам, И. Б. Петухов // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 387-388.