Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Пантелеев, К. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T08:18:46Z | |
| dc.date.available | 2021-02-09T08:18:46Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 78-80. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/86932 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
