Облученные гамма-квантами пленки позитивного резиста ФП9120 на пластинах монокристаллического кремния
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T08:18:50Z | |
| dc.date.available | 2021-02-09T08:18:50Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Бринкевич, Д. И. Облученные гамма-квантами пленки позитивного резиста ФП9120 на пластинах монокристаллического кремния / Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Черный // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 169-171. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/86983 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Облученные гамма-квантами пленки позитивного резиста ФП9120 на пластинах монокристаллического кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
