Мехатронное устройство для транспортировки полупроводниковых пластин в микроэлектронном производстве
| dc.contributor.author | Сеидов, Р. М. | |
| dc.date.accessioned | 2021-02-28T12:11:12Z | |
| dc.date.available | 2021-02-28T12:11:12Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/87847 | |
| dc.subject | Реферат | ru |
| dc.title | Мехатронное устройство для транспортировки полупроводниковых пластин в микроэлектронном производстве | ru |
