Способ изготовления мишени для магнетронного распыления

Степаненко, А. В.; Любимов, В. И.; Пилипенко, В. И.; Татаринский, В. М.; Варавин, В. А.; Хлебцевич, В. А.

Authors

Date

1993

Another Title

А. с. 1785808 СССР

Bibliographic entry

Способ изготовления мишени для магнетронного распыления : а. с. 1785808 СССР : МПК5 B22F3/02 / А. В. Степаненко [и др.] ; заявитель Белорусский политехнический институт ; дата публ.: 07.01.1993.

Способ изготовления мишени для магнетронного распыления

Authors

Date

Another Title

Bibliographic entry

URI

View/Open

Collections

CORE Recommender