Способ изготовления мишени для магнетронного распыления
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/91481/1785808.pdf.jpg?sequence=2&isAllowed=y)
Authors
Date
1993Another Title
А. с. 1785808 СССР
Bibliographic entry
Способ изготовления мишени для магнетронного распыления : а. с. 1785808 СССР : МПК5 B22F3/02 / А. В. Степаненко [и др.] ; заявитель Белорусский политехнический институт ; дата публ.: 07.01.1993.
View/ Open
Collections
- Изобретения[4965]