Трёхмерная кремниевая технология. Преимущества применения технологии в миро- и нанотехнике
| dc.contributor.author | Галацевич, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-05-13T06:10:43Z | |
| dc.date.available | 2021-05-13T06:10:43Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Галацевич, В. В. Трёхмерная кремниевая технология. Преимущества применения технологии в миро- и нанотехнике / В. В. Галацевич, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 151-152. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/91534 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Трёхмерная кремниевая технология. Преимущества применения технологии в миро- и нанотехнике | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
