Технология интеграции оптических и металлических межсоединений на кремниевых подложках
| dc.contributor.author | Заблоцкая, Ю. Д. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-05-13T06:10:43Z | |
| dc.date.available | 2021-05-13T06:10:43Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Заблоцкая, Ю. Д. Технология интеграции оптических и металлических межсоединений на кремниевых подложках / Ю. Д. Заблоцкая, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 154-155. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/91537 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технология интеграции оптических и металлических межсоединений на кремниевых подложках | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
