Технология формирования приборов на поверхностных акустических волнах
Bibliographic entry
Козлова, Е. С. Технология формирования приборов на поверхностных акустических волнах / Е. С. Козлова, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 159-160.