Плазмохимический реактор в микро- и нанотехнике
Bibliographic entry
Левчук, Д. С. Плазмохимический реактор в микро- и нанотехнике / Д. С. Левчук, Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 167-168.