Плазменная очистка и модификация поверхности для микроэлектроники
| dc.contributor.author | Левчук, Д. С. | ru |
| dc.contributor.author | Галацевич, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Козлова, Т. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-05-13T06:10:45Z | |
| dc.date.available | 2021-05-13T06:10:45Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Левчук, Д. С. Плазменная очистка и модификация поверхности для микроэлектроники / Д. С. Левчук, В. В. Галацевич, Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 168-169. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/91551 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Плазменная очистка и модификация поверхности для микроэлектроники | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
