Технология формирования полупроводниковых диодов на основе карбида кремния
Bibliographic entry
Рябая, А. Н. Технология формирования полупроводниковых диодов на основе карбида кремния / А. Н. Рябая, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 179.