Фазообразование в тонких плёнках TI-SI на кремнии
| dc.contributor.author | Таласпаев, М. А. | ru |
| dc.contributor.author | Шахлевич, Г. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-05-13T06:10:46Z | |
| dc.date.available | 2021-05-13T06:10:46Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Таласпаев, М. А. Фазообразование в тонких плёнках TI-SI на кремнии / М. А. Таласпаев, Г. М. Шахлевич // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 185-187. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/91569 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Фазообразование в тонких плёнках TI-SI на кремнии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
