Show simple item record

dc.contributor.authorТаласпаев, М. А.ru
dc.contributor.authorШахлевич, Г. М.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2021-05-13T06:10:46Z
dc.date.available2021-05-13T06:10:46Z
dc.date.issued2021
dc.identifier.citationТаласпаев, М. А. Фазообразование в тонких плёнках TI-SI на кремнии / М. А. Таласпаев, Г. М. Шахлевич // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 185-187.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/91569
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleФазообразование в тонких плёнках TI-SI на кремнииru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record