Формирование легированных полупроводниковых слоев эпитаксией из газовой фазы
Bibliographic entry
Синяк, В. М. Формирование легированных полупроводниковых слоев эпитаксией из газовой фазы / В. М. Синяк // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 190.