Оптимизация технологии травления покрытий при производстве интегральных микросхем
Bibliographic entry
Тимина, И. Э. Оптимизация технологии травления покрытий при производстве интегральных микросхем / И. Э. Тимина // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 200.