Исследование фазовых превращений в тонкопленочной системе Si-Mg-Si при импульсном фотонном отжиге
Bibliographic entry
Маркевич, М. И. Исследование фазовых превращений в тонкопленочной системе Si-Mg-Si при импульсном фотонном отжиге / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Десятой международной научно-технической конференции : в 4 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2012. – Т. 3. – С. 409.