Влияние режимов реактивного магнетронного распыления на оптические характеристики покрытий бинарных нитридов TiCrN, TiSiN, TiAlN
Bibliographic entry
Белявский, Д. С. Влияние режимов реактивного магнетронного распыления на оптические характеристики покрытий бинарных нитридов TiCrN, TiSiN, TiAlN / Д. С. Белявский // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 255.