Исследование электрических характеристик пленок карбонитрида кремния, легированного металлом
| dc.contributor.author | Обухов, В. Е. | ru |
| dc.contributor.author | Лычковская, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Шпак, Е. П. | ru |
| dc.contributor.author | Шепетько, С. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-05-31T08:28:55Z | |
| dc.date.available | 2021-05-31T08:28:55Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Исследование электрических характеристик пленок карбонитрида кремния, легированного металлом / В. Е. Обухов [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Девятой международной научно-технической конференции : в 4 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2011. – Т. 1. – С. 324. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/93722 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование электрических характеристик пленок карбонитрида кремния, легированного металлом | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
