Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров
Another Title
Nanoporous anodic aluminum oxide in the construction of gas sensors
Bibliographic entry
Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров = Nanoporous anodic aluminum oxide in the construction of gas sensors / Г. Г. Горох [и др.] // Наноструктурные материалы: технологии, свойства, применение : сборник научных статей / под ред. В. А. Лабунова, В. С. Урбановича, Е. Н. Шлома ; Национальная академия наук Беларуси, Научно-практический центр по материаловедению. – Минск : Белорусская наука, 2017. – С. 270-279.
Abstract
Газовые микросенсоры относятся к устройствам, позволяющим проводить анализ концентрации того или иного химического компонента в смеси газов. Использование наноструктурированного анодного оксида алюминия в конструкциях микросенсоров дает возможность создавать на поверхности подложек высокоразвитые структуры или рельефы для последующего нанесения чувствительных слоев газового сенсора, снижать потребляемую мощность, повышать адгезионные свойства полученных подложек и структур. В результате проведенных работ разработаны конструкции и технологии изготовления полупроводниковых высокочувствительных газовых сенсоров и мультисенсорных микросистем с низким энергопотреблением на основе подложек и мембран из нанопористого оксида алюминия, гироскопического сенсора, макетного образца микросистемы «электронный нос» с преконцентратором. Исследования газочувствительных свойств микросенсоров были выполнены при разных режимах измерения.
Abstract in another language
Gas microsensors are devices that allow for the analysis of concentration of a chemical component in a gaseous mixture. We used in the design of microsensors nanostructured aluminium oxide. this allows us to create on the substrate surface highly developed structures or reliefs for the subsequent application of sensitive layers of gas sensors, to reduce power consumption, to improve the adhesion properties of the obtained substrates and structures. the result of this work we have developed design and manufacturing technologies of semiconductor high-sensitivity gas sensors and multi-sensor Microsystems with low power consumption based on substrates and membranes of nanoporous aluminum oxide, a gyroscopic sensor, the prototype of the microsystem “electronic nose” with preconcentration. We conducted a study of gas sensing properties of sensors with different measurement modes.