Реактивное магнетронное нанесение твердых нанокомпозитных покрытий TiAlN с использованием оптического метода контроля
Bibliographic entry
Климович, И. М. Реактивное магнетронное нанесение твердых нанокомпозитных покрытий TiAlN с использованием оптического метода контроля / И. М. Климович, В. В. Пилько, И. А. Романов // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 277.