Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени
| dc.contributor.advisor | Голосов, Д. А. | ru |
| dc.contributor.advisor | Завадский, С. М. | ru |
| dc.contributor.author | Доан, Х. Т. | ru |
| dc.contributor.author | Вилья, Н. | ru |
| dc.contributor.author | Пивоварчик, С. С. | ru |
| dc.contributor.author | Лам, Н. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-06-07T07:14:52Z | |
| dc.date.available | 2021-06-07T07:14:52Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени / Х. Т. Доан [и др.] ; науч. рук.: Д. А. Голосов, С. М. Завадский // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2021 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Интеллектуальные и мехатронные системы" ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Подгорная ; сост. А. В. Подгорная. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 92-96. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/94428 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени | ru |
| dc.type | Article | ru |
