| dc.contributor.author | Шевченок, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Степкин, М. О. | ru |
| dc.contributor.author | Колешко, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, А. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-06-14T10:49:39Z | |
| dc.date.available | 2021-06-14T10:49:39Z | |
| dc.date.issued | 2008 | ru |
| dc.identifier.citation | Влияние фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления на основе ZnO = Influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO / А. А. Шевченок [и др.] // Порошковая металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусское республиканское научно-производственное объединение порошковой металлургии. – Минск : Вышэйшая школа, 1977 . - Вып. 31 / Национальная академия наук Беларуси (Минск), Белорусский государственный научно-производственный концерн порошковой металлургии, Государственное научное учреждение "Институт порошковой металлургии"; гл. ред. П. А. Витязь. – Минск : Белорусская наука, 2008. – С. 286-289. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/94713 | en |
| dc.description.abstract | В статье представлены результаты исследований влияния фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления тонких пленок на основе ZnO. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Белорусская наука | ru |
| dc.title | Влияние фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления на основе ZnO | ru |
| dc.title.alternative | Influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO | en |
| dc.type | Article | en |
| local.description.annotation | Results of research on influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO are presented. | en |
