Browsing Материалы конференций и семинаров by Author "Пологов, А. С."
Now showing items 1-1 of 1
-
Конфигурация магнитной системы для формирования разряда низкого давления в магнетронных распылительных системах
Комаровская, В. М.; Терещук, О. И.; Латушкина, С. Д.; Пологов, А. С. (БНТУ, 2021)Авторами данной работы показано, что основной проблемой при формировании покрытий с использованием магнетронных распылительных систем является сравнительно высокое давление рабочего газа, при котором возникает магнетронный разряд – порядка 0,1 Па. Проанализированы существующие методы уменьшения рабочего давления МРС ниже уровня 0,1 Па. В данной работе предложена схема МРС с ...2021-07-15