Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ)
Bibliographic entry
Кукишев, А. А. Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) / А. А. Кукишев ; науч. рук. Е. П. Орлова // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 203-205.
Abstract
Рассмотрен процесс роста тонких пленок методом молекулярно-лучевой эпитаксии.