Анализ методов повышения равномерности вакуумных покрытий
Bibliographic entry
Погадаев, В. А. Анализ методов повышения равномерности вакуумных покрытий / В. А. Погадаев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 232-235.
Abstract
В данной статье были проанализированы патенты, в которых предлагаются различные методы решения проблемы неравномерности толщины покрытия. Рассматривается наиболее оптимальная конструкция технологической оснастки, которая позволяет снизит шероховатость до ± (3÷4%).