Методом наноцарапания определен критический коэффициент интенсивности напряжений (KIC) покрытий Zr(C)N. Покрытия осаждены на стальную подложку магнетронным методом при различной скорости потока ацетилена (от 0 до 6 см3/мин). Увеличение скорости потока ацетилена в камере от 0 до 1,5 см3/мин приводит к повышению критического коэффициента интенсивности напряжений на 18 %. Дальнейшее ...