Browsing by Author "Вишневский, А. И."
Now showing items 1-1 of 1
-
Структурные изменения в покрытиях Ti – Al – C – N при лазерном отжиге
Зайков, В. А.; Ивлев, Г. Д.; Климович, И. М.; Людчик, О. Р.; Вишневский, А. И.; Гусакова, С. В.; Королик, О. В. (2018)Методами растровой электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света исследованы структура, элементный состав тонких пленок Ti – Al – C – N до и после обработки интенсивным излучением рубинового лазера (λ = 0,69 мкм) при плотностях энергии 0,5–1,3 Дж/см2. Исследуемые тонкопленочные покрытия формировались на кремниевых подложках методом реактивного магнетронного распыления ...2019-04-18